精密陶瓷制造商
氮化鋁陶瓷、macor、氧化鋁陶瓷生產(chǎn)加工企業(yè)
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13412856568搜索關(guān)鍵詞： 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
| 產(chǎn)品名稱 | 碳化硅陶瓷承載盤 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 來圖定制加工 |
| 粗糙度 | Ra0.05 |
| 材料成分 | 碳化硅陶瓷 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！ |
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0769-82913501 |
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PRODUCT CATEGORIES
碳化硅陶瓷承載盤是半導(dǎo)體與光伏行業(yè)的核心承載部件，憑借材料特性滿足高精度生產(chǎn)需求。其硬度高達(dá)莫氏9.2級，耐磨性強(qiáng)，長期承載晶圓或硅片時表面不易磨損，使用壽命是金屬承載盤的5-10倍。 碳化硅導(dǎo)熱率達(dá)100-200W/(m·K)，能快速均勻散熱，避免加工中局部高溫導(dǎo)致的工件損壞。熱膨脹系數(shù)與硅材料接近，減少熱應(yīng)力引發(fā)的形變，鈞杰陶瓷保障加工精度。 經(jīng)精密加工，承載盤表面粗糙度達(dá)Ra≤0.05μm，平面度誤差≤5μm/m，配合微結(jié)構(gòu)設(shè)計實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定承載。其耐等離子體腐蝕、抗化學(xué)侵蝕，適配蝕刻、沉積等工藝環(huán)境，為量產(chǎn)的穩(wěn)定性與良率提供可靠支撐。
聯(lián)系電話：134-128-56568
地址：東莞市松山湖園區(qū)怡樂路1號南2棟1單元306
E-mail：xwj@jundro.com
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